정책센터 초정밀시스템의 나노위치제어기술
페이지 정보
- 발행기관
- KISTI
- 저자
- 이일형,김재열/조선대학교
- 발행일
- 2001-02-01
- 조회
- 3,043
- 원문
-
- 14-초정밀시스템의 나노위치제어기술.pdf (3.0M) 85회 다운로드 | DATE : 2010-10-08 00:00:00
본문
나노 위치결정기술에 관한 연구는 1990년대 초반부터 수행되고 있으며, 국내 반도체 업체가 DRAM 분야에서 세계 1위를 차지하면서 급속히 발전하였으며, 반도체 제조업체와 학게를 중심으로 활발히 연구되고 있다. 현재 나노 위치결정기술의 국내.외의 연구방향은 고정밀, 고 응답성의 신소재 개발과 미세형상 및 치수 측정기술, 나노위치계측 방법 및 센서 개발, 나노 위치결정 시스템 응용 및 제어에 관한 연구가 진행되고 있다.
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