정책센터 나노임프린트 리소그래피
페이지 정보
- 발행기관
- KISTI
- 저자
- 최붕기,이성은/LG전자기술원
- 발행일
- 2002-03-01
- 조회
- 2,943
- 원문
-
- 12-나노임프린트리소그래피.pdf (2.8M) 185회 다운로드 | DATE : 2010-10-08 00:00:00
본문
나노임프린트 리소그래피는 1990년대 중반 미국 프린스턴 대학교의 Stephen Y. Chou 교수에 의해 도입된 나노 제작 방법으로 낮은 생산서을 갖는 전자빔 리소그래피를 보완할 기술로 주목받고 있다. NIL 기술은 컴팩디스크와 같은 마이크로 스케일의 패턴을 갖는 고분자 소재 제품의 대량 생산에 사용되는 엠보싱/몰딩 기술을 리소그래피에 적용한 것이다.
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