정책센터 전자빔을이용한나노패터닝기술
페이지 정보
- 발행기관
- KISITI
- 저자
- 이호신/김기범/서울대학교
- 발행일
- 2002-03-02
- 조회
- 2,672
- 원문
-
- 11-전자빔을이용한나노패터닝기술.pdf (2.6M) 48회 다운로드 | DATE : 2010-10-08 00:00:00
본문
SCALPEL 기술은 미국의 벨 연구소에 근무하던 Steven Berger와 Murray Gibson에 의해 1988년에 고안되었다. 이들은 또한 이전의 전자빔 프로젝션 리소그래피의 한계를 극복하기 위하야 step-and-scn의 writing stategy에 대한 아이디어도 함께 생각해 냈었다
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