정책센터 나노패터닝 기술
페이지 정보
- 발행기관
- 한국과학기술정보연구원, 한양대학교
- 저자
- 최붕기, 소대섭, 정희준
- 발행일
- 2005-12-12
- 조회
- 4,089
- 원문
-
- 나노패터닝 기술.PDF (2.6M) 1574회 다운로드 | DATE : 2007-04-04 00:00:00
본문
본 연구는 나노패터닝의 주요한 기술로 대두되고 있는 전자빔 리소그래피와 나노임프린팅 리소그래피에 대한 연구개발 동향을 총괄하여 조망할 수 있도록 기술 및 문헌특허분석을 시도하였으며 대표적인 나노패터닝 구조체인 양자점 소자의 순수물리학적 특성에 대하여 살펴보았다. 특히, 반도체 3-5족의 갈륨비소(GaAs) 물질을 이용하여 만들어진 양자점 소자들을 통해서 이루어진 몇 가지 중요하고도 대표적인 실험들에 대하여 소개하였다. 정성적인 연구개발동향분석과 정량적인 정보분석을 통하여 현 단계 주요 나노 패터닝 기술 동향을 진단하여 연구개발현황의 입체적인 정보를 제공하고자 하였으며 나아가, 국내 연구진간의 정보교류 및 협력활동을 증진시키고, 상호협력을 통한 시너지 효과를 극대화 하는데 연구의 목적이 있다.
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