정책센터 변위, 두께 및 형상 나노측정기술
페이지 정보
- 발행기관
- 한국과학기술정보연구원
- 저자
- 최붕기, 이호신, 이일형, 이학주, 이상록
- 발행일
- 2004-01-01
- 조회
- 3,203
- 원문
-
- 15-nanometrology.pdf (1.9M) 966회 다운로드 | DATE : 2007-04-04 00:00:00
본문
나노기술의 많은 공정과 생산절차가 원자나 분자단위를 대상으로 하기에 원자수준과 그 이하의 치수를 측정하는 나노측정기술의 개발은 나노기술개발의 핵심기반기술 중 하나이다. 기존의 많은 측정기술 중에서 나노 구조물의 형상, 박막의 두께, 변위와 관련된 세 가지 영역의 측정기술을 중심으로 그 측정원리와 기술동향, 시장동향, 전망 등을 기술하였다.
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