정책센터 초정밀 시스템의 나노위치제어기술
페이지 정보
- 발행기관
- 조선대학교 / 한국과학기술정보연구원
- 저자
- 김재열 / 이일형
- 발행일
- 2002-12-28
- 조회
- 3,807
- 원문
-
- 초정밀나노위치제어.pdf (3.0M) 47회 다운로드 | DATE : 2007-06-28 00:00:00
본문
나노 위치결정기술은 안정된 요소기술을 기반으로 다양한 응용분야를 대상으로 추진될 수 있는 전형적인 하드웨어 요소 및 시스템 복합기술의 성격을 갖는다. 그러므로 견고한 요소기술의 확보가 선행적으로 수행되어야 하며, 이와 관련된 선진국들의 주요 연구내용은 변위계측, 정밀구동, 환경안정, 프로브의 4가지 주체로 요약될 수 있다. 산업계에서는 극미세가공, 초정밀측정, 반도체 웨이퍼, 광통신 부품과 광자기메모리 분야에서 고정밀화 및 대형화 추세에 따라 ㎚급의 정밀도를 유지하면서 수백 mm의 긴 스트로크를 갖는 나노위치결정 기술을 요구하고 있어, 이에 대한 기반기술 확보가 시급한 실정이다.
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