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일본 반도체 웨이퍼 세정 시, 나노구조가 망가지는 모습을 촬영

페이지 정보

발행기관
NIKKEI
저자
 
종류
산업
나노기술분류
 
발행일
2022-08-08
조회
92

본문

- 일본기업 SCREEN 홀딩스가 반도체 웨이퍼 세정 시 미세 구조가 망가지는 모습을 촬영

- 연구팀은 전자선을 투과하기 쉬운 박막으로 용액 셀을 제작하고 액체와 나노 크기 기둥이 있는 나노 구조체의 건조 과정을 관찰한 바, 증발이 진행되면 액면은 내려가지만, 기둥끼리의 간극에 표면장력으로 액체가 남는 현상을 확인했으며, 2-프로판올(IPA)로 씻기지 않았던 물이 기둥과 기둥의 끝을 접착시키듯 남아 나노 구조체를 붕괴시키는 것을 관찰

- 건조 과정 촬영이 가능해져 불량의 원인을 특정함으로써 반도체 설계 및 세정 공정 등 어느 부분에 문제가 있는지 파악할 수 있어, 설계 단계에서 회피할 수 있을 것으로 기대

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