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TSMC도 못 만든 부품, 그래핀 소재 펠리클 양산 임박

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발행기관
매일경제
저자
 
종류
산업
나노기술분류
나노정보전자
발행일
2022-11-15
조회
15

본문

● 국내 기업 그래핀랩은 그래핀 소재 펠리클 개발 과정이 기술완성수준(TRL) 6~7단계에 이르러 양산에 임박

● 그래핀랩은 EUV 펠리클 투과율 검사에서 89%를 웃도는 투과율을 확인했으며, 최근 특허 등록한 오존가스를 이용한 펠리클 소재용 그래핀 박막의 제조방법으로 그래핀 두께 제어 기술도 확보

● 그래핀랩이 그래핀을 활용해 EUV용 펠리클 양산에 성공하면 세계적으로도 첫 성과가 되며, 5나노 이하 반도체 첨단공정에서 수율을 획기적으로 끌어올리는 '게임체인저'가 될 것으로 전망

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