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표준연, 반도체 수율 향상 플라즈마 센서 개발

페이지 정보

발행기관
신소재경제
저자
 
종류
R&D
발행일
2021-05-31
조회
58

본문

한국표준과학연구원은 반도체·디스플레이 공정에 사용되는 플라즈마 밀도를 가동 장비를 멈추지 않고 실시간으로 측정할 수 있는 센서를 세계최초로 개발함. 이효창 선임연구원은 이번에 개발한 센서는 웨이퍼 바닥 부분인 정전척, 에지링, 챔버 벽 등 원하는 부분에 설치할 수 있어 실용적이라며, “향후 관련 기술의 표준 시험 절차 확립을 통해 반도체·디스플레이 소재·부품·장비의 성능을 검증할 수 있는 플라즈마 측정 기준 장비로 활용할 전망이라고 밝힘.

Plasma Sources Science and Technology 게재

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