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용어의 정의

나노측정 정전기력 원자현미경

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작성자 관리자
댓글 0건 조회 4,048회 작성일 07-03-29 00:00
용어
정전기력 원자현미경
요약
시료의 정전기적 특성을 재는 원자현미경
참고문헌
- J. M. R. Weaver and D. W. Abraham, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 1559 (1991)

- J. E. Stern, B. D. Terris, H. J. Mamin, and D. Rugar, Appl. Phys. Lett. 53, 2717 (1988)

- Y. Martin, D. W. Abraham, and H. K. Wickramasinghe, Appl. Phys. Lett., 52, 1103 (1988
분류
나노측정 > 원자현미경

본문

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EFM은 정전기력을 사용하여 표면전위, 표면전하, 유전상수(dielectric constant) 등 시료의 전기적 특성을 측정하는 장치이다. 이러한 전기적 특성을 재기 위하여 EFM에서는 시료와 탐침간에 정현파 교류전압과 직류전압을 걸어준다. 그러면 그림 1과 같이 탐침과 시료사이에 정전기력이 작용하여 캔틸레버를 진동시키는데 이때 캔틸레버가 진동하는 크기를 분석하면 시료의 형상뿐 아니라 시료의 여러가지 전기적 특성을 알아낼 수 있다.