나노측정 경도측정 원자현미경
페이지 정보
- 용어
- 경도측정 원자현미경
- 요약
- 시료의 경도(硬度)를 재는 원자현미경
- 참고문헌
- - P. Maivald, H. J. Butt, S. A. C. Gould, C. B. Prater, B. Drake, J. A. Gurley, V. B. Elings, P. K. Hansma, Nanotechnology 2, 103 (1991)
- 분류
- 나노측정 > 원자현미경
본문
접촉식 AFM에서 탐침이 시료와 접촉하고 있는 범위 내에서 캔틸레버를 일정한 진폭으로 진동 시키면 그림 1과 같이 시료와의 접촉에 의해 탐침의 진폭과 위상이 변화한다. 시료가 단단한 부분에서는 캔틸레버의 진폭이 크고 물렁물렁한 부분에서는 진폭이 감소된다. 이렇게 각 지점에서 접촉하는 힘의 크기를 변화시켰을 때 그에 대한 시료의 반응에 의해 시료의 경도(硬度)를 재는 기능을 갖는 것이 FMM이다. 또 다른 방법으로 시료를 아래쪽에서 진동시키면 시료의 물리적 성질에 따라 표면까지 전파되는 진동의 진폭과 위상이 달라진다. 일반적으로 시료의 단단한 부분에서는 진동이 잘 전달되어 진폭이 크고, 부드러운 부분에서는 진동이 흡수되어 진폭이 작아진다. 그러나 진동의 주파수가 변함에 따라 각 물질의 반응도 달라지며, 공진 현상도 일어날 수 있으므로, 한 지점에서 주파수를 변화시켜 가면서 그 스펙트럼을 보는 것도 유용하다. 또한 점도(粘度)가 있는 부분에서는 위상지연이 생기므로 표면 각 부위에서 진동의 위상을 측정함으로써 시료를 구성하는 물질의 점도를 알 수 있게 된다.
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